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擴散泵

更新時間:2022-09-19

簡要描述:

Agilent VHS-400擴散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有*的凸腔設計能使氣體捕集量翻倍,并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件,便于連續監測和對泵油的維護。

 Agilent VHS-400擴散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有*的凸腔設計能使氣體捕集量翻倍,并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件,便于連續監測和對泵油的維護。鰭片式加熱盤設計增大了表面積,并延長了泵油的使用壽命。過熱保護開關和速冷盤管也是標準配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購 ASA 或 ISO 法蘭、標準或外延冷卻帽,還有多種電壓型號可選。

特性:

1.可達到同等高度下的極限抽速。

2.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況。

3.泵油注排組件

4.可提供 5100 瓦高氣載型。

5.四級分餾噴嘴可純化泵油。

6.前級耐壓高。

7.過熱保護。

8.翅片加熱盤設計增大表面積,并延長泵油壽命。

9.速冷盤管為標準件。

10.前級擋板防止泵油進入前級系統并造成流失。

性能指標:

抽氣速率,工作范圍 抽氣速率,AVS4.1 (1963) 4500 空氣,5625 L/s 氦氣/氫氣 8000 L/s 空氣
大抽氣量 在工作范圍內為 6.3 T L/s (8.4 mbar L/s),0.01 torr 時為 7.5 T L/s (45 mbar L/s)
操作范圍 1.4 x 10-3 至低于 5 x 10-9 torr(1.9 x 10-3 至低于 6.5 x 10-9 mbar)
大前級耐壓 無負載:0.65 torr (0.85 mbar) 滿載:0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級泵 ≥ 30 cfm (51 m3/hr)
返油率,標準冷卻帽 低于 1.0 x 10-3 mg/cm2/min
預熱時間 15 分鐘
冷卻時間 25 分鐘
注油量 1000 cc
電氣要求 3 相,50/60 Hz,208/380/480 VAC
泵功率 4400 W
冷卻水要求 0.40 gpm (80 L/hr)
連接水冷

 

1/8 英寸 FPT 三通

 

外形圖

 

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