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Agilent VHS-10擴散泵(beng)具有 4 英寸(cun)、6 英寸(cun)、250 mm、10 英寸(cun)和 400 mm 多種(zhong)尺寸(cun)。VHS 系(xi)列擁有*的凸腔設(she)計能使氣體捕(bu)集(ji)量翻倍,并且可以保持(chi)更低的壓力。所有 VHS 系(xi)列泵(beng)都配有油(you)位觀察窗/注油(you)和放油(you)組件,便于連(lian)續監(jian)測和對泵(beng)油(you)的維護。
Agilent VHS-10擴散泵(beng)具有(you) 4 英(ying)(ying)寸、6 英(ying)(ying)寸、250 mm、10 英(ying)(ying)寸和(he)(he) 400 mm 多種尺寸。VHS 系列擁有(you)*的凸腔設計能使氣體捕集量翻倍(bei),并且可以保(bao)持更低的壓力。所有(you) VHS 系列泵(beng)都配有(you)油(you)位觀察窗(chuang)/注(zhu)油(you)和(he)(he)放油(you)組件(jian),便于連續(xu)監測和(he)(he)對泵(beng)油(you)的維(wei)護。鰭(qi)片(pian)式(shi)加熱(re)盤設計增大了表(biao)面積,并延(yan)長了泵(beng)油(you)的使用壽命。過熱(re)保(bao)護開關(guan)和(he)(he)速冷盤管(guan)也(ye)是標準配置。4 英(ying)(ying)寸、6 英(ying)(ying)寸和(he)(he) 10 英(ying)(ying)寸泵(beng)可隨泵(beng)訂(ding)購 ASA 或 ISO 法蘭(lan)、標準或外延(yan)冷卻(que)帽,還有(you)多種電壓型(xing)號可選。
特(te)性(xing):
1.可達到泵的極限(xian)抽速。
2.油位(wei)觀(guan)察鏡可隨時快速指示泵油的狀況。
3.泵油注(zhu)排(pai)組件(jian)
4.可提供 5100 瓦高(gao)氣載型。
5.分餾噴嘴可純化流(liu)體。
6.前級(ji)耐(nai)壓高。
7.過熱(re)保(bao)護(hu)。
8.不銹鋼(gang)泵體
技術指標:
抽氣速率(lv),工作(zuo)范圍(wei) 抽氣速率(lv),AVS4.1 (1963) | 3650 L/s 空氣(qi)(qi),4560 L/s 氦(hai)氣(qi)(qi)/氫(qing)氣(qi)(qi) 5300 L/s 空氣(qi)(qi) |
大抽氣量 | 在工作范圍內為 6.3 T L/s (8.4 mbar L/s),0.01 torr 時(shi)為 7.5 T L/s (45 mbar L/s) |
操作范(fan)圍 | 4400 W 時,壓力為 1.7 x 10-3 到低于 5 x 10-9 torr(2.3 x 10-3 到低于 6.5 x 10-9 mbar) |
大前級耐壓 | 無負載:0.65 torr (0.85 mbar) 滿載:0.55 torr (0.72 mbar) |
推薦(jian)前級泵 | ≥ 30 cfm (51 m3/h) |
返油率,標(biao)準(zhun)冷卻帽 | 低于 5.0 x 10-4 mg/cm2/min |
預熱時(shi)間 | 15 分鐘 |
冷卻時間 | 25 分鐘 |
注油量 | 1000 cc |
電氣(qi)要求 | 3 相,50/60 Hz,208/240/380/480 VAC |
泵功率 | 4400 W |
冷卻(que)水要求 | 0.40 gpm (80 L/hr) |
連接水冷 | 1/8 英寸 FPT 三通 |
抽速曲線:
抽速/標準冷卻帽 抽速/外延冷卻帽通導
外形圖:
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